特許
J-GLOBAL ID：200903052641354967
縦型熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-122596
公開番号（公開出願番号）：特開平9-289173
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 第1及び第2の保持具を用いて熱処理を行なうにあたって、これら保持具の転倒を防止する縦型熱処理装置を提供すること。【解決手段】 第1のウエハボ-ト34を載せてウエハ移載領域と、熱処理炉2内の位置との間を移動する第1のボ-トエレベ-タ3と、第2のウエハボ-ト44を載せてウエハ移載領域と、熱処理炉2内の位置との間を移動する第2のボ-トエレベ-タ4とを設けると、ウエハボ-トの移載を行なわないので、ウエハボ-トの位置ずれの問題はなくなり、ウエハボ-トの転倒が防止できる。またウエハボ-トの移載を行なう場合でも、ウエハボ-トの下端側に切欠部を形成し、ウエハ移載ステ-ジの上面に切欠部と適合するガイド部材を設けて、ウエハボ-トをウエハ移載ステ-ジに載置する際に、強制的に位置合わせを行なうと、位置ずれが補正され、ずれの累積がなくなるので、ウエハボ-トの転倒が防止できる。
請求項（抜粋）：
複数の被処理体を保持具に上下に配列して保持させ、この保持具を縦型熱処理炉内に下方側から搬入して、被処理体に対して熱処理を行なう縦型熱処理装置において、前記被処理体を保持する第1の保持具及び第2の保持具と、前記第1の保持具を搭載して前記熱処理炉の下方位置と熱処理炉内の位置との間を昇降すると共に、前記下方位置とこの下方位置から離れた移載領域との間を移動する第1の保持具搬送手段と、前記第2の保持具を搭載して前記下方位置と熱処理炉内の位置との間を昇降すると共に、前記下方位置と前記移載領域との間を移動する第2の保持具搬送手段と、前記被処理体の移載領域にて、前記第1の保持具と第2の保持具に対して、被処理体の受け渡しを行なう被処理体移載手段と、を備え、前記第1の保持具搬送手段と第2の保持具搬送手段とにより、前記第1の保持具と第2の保持具とを交互に前記熱処理炉内に搬入することを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/31
, H01L 21/324
H01L 21/22 511 B
, H01L 21/31 E
, H01L 21/324 D
