特許

J-GLOBAL ID：200903052644448865

軟X線発生装置及びこれを備えた露光装置及び軟X線の発生方法

発明者： 神高 典明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210615
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035688
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 軟X線を効率よく発生させる。【解決手段】 本発明の軟X線装置は、パルスレーザー光を照射する複数のレーザー光源と、前記パルスレーザー光を減圧された容器内の標的に集光することにより該標的を構成する材料をプラズマ化し、該プラズマから輻射される軟X線を利用する軟X線発生装置において、前記複数のレーザー光源の各々の光源は前記生成するプラズマの電子温度が約20eV〜100eVになる条件に制御され照射可能なものである。

請求項（抜粋）：

パルスレーザー光を照射する複数のレーザー光源と、前記パルスレーザー光を減圧された容器内の標的に集光することにより該標的を構成する材料をプラズマ化し、該プラズマから輻射される軟X線を利用する軟X線発生装置において、前記複数のレーザー光源の各々の光源は前記生成するプラズマの電子温度が約20eV〜100eVになる条件に制御され照射可能であることを特徴とする軟X線発生装置。

Fターム (7件)：

4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092CC02 ,  4C092CD01 ,  4C092CD09 ,  4C092CE01