特許

J-GLOBAL ID：200903052648147940

多層セラミックパッケージの製造方法

発明者： 恩塚 安幾
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304938
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127123
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 多層セラミックパッケージの製造工程において、セラミックグリーンシートの積層体を圧縮成形する工程で、周囲からの圧力を受けて部分的に形状が変形するという課題があった。そのために所要のパッケージ形状を形成するための工程が必要である。【解決手段】 セラミックグリーンシートの積層体のキャビティ形成部分に、圧縮成形の工程で直接受ける圧力を回避するため、平板を設置することにより、外部圧力による変形を確実に防止することができる。

請求項（抜粋）：

所望の形状の複数個の貫通穴を同位置に有した複数枚のセラミックグリーンシートと、貫通穴を有しない複数枚のセラミックグリーンシートを、所定の順序で積層して形成した積層体を圧縮成形し、焼結して形成される多層セラミックパッケージの製造方法において、前記貫通穴を有するセラミックグリーンシートの複数枚を積層して形成されるキャビティの部分に、キャビティ形状と同等の形状で、且つキャビティの深さと同じ厚みを有する平板をキャビティの内部に収容する第1の工程と、前記平板が収容された状態の前記積層体を真空包装する第2の工程と、静水圧プレス法を用いて前記積層体を圧縮成形する第3の工程と、圧縮成形された積層体から前記平板を取り外した後、焼結する第4の工程とを含む多層セラミックパッケージの製造方法。

IPC (3件)：

B28B 3/00 102 ,  B32B 31/20 ,  H05K 3/46

FI (4件)：

B28B 3/00 102 ,  B32B 31/20 ,  H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 Y

Fターム (15件)：

4G054AA05 ,  4G054AB01 ,  4G054AC00 ,  4G054BE01 ,  4G054BE06 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA60 ,  5E346BB01 ,  5E346CC17 ,  5E346EE24 ,  5E346GG03 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH11