特許
J-GLOBAL ID：200903052653928470
アルミニウム製ペリクル用枠およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉岡 宏嗣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-168434
公開番号（公開出願番号）：特開2001-350253
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 退色が少なく、パターン回路を精度良く転写できるペリクル用枠を実現する。【解決手段】 ステップS1において、アルミニウム製のペリクル用枠材を、炭素と酸素を少なくとも構成元素とする官能基を有する有機酸電解液中で陽極酸化処理する。次に、ステップS2において、ステップS1で陽極酸化処理されたペリクル用枠材を黒色系有機染料により染色処理する。
請求項（抜粋）：
アルミニウム製のペリクル用枠材の表面に、炭素または炭素化合物もしくはその両方を分散含有した陽極酸化皮膜が形成され、更に該陽極酸化皮膜上に黒色系有機染料層が形成されたことを特徴とするアルミニウム製ペリクル用枠。
IPC (4件)：
G03F 1/14
, C25D 11/14
, C25D 11/18
, C25D 11/18 305
G03F 1/14 K
, C25D 11/14 D
, C25D 11/14 F
, C25D 11/18 A
, C25D 11/18 305
