特許
J-GLOBAL ID：200903052657765568
マーキング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-264366
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120096
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【構成】 レーザマーキング工程中に、レーザマーク部3に内蔵されたレーザパワーメータによるレーザのパワー出力の測定とマーク検査部4によるマーク検査を行い、レーザのパワー出力の測定値が、予め求められた基準値を下回った場合、又は、マーク検査の結果、マーク不良と判断された場合に、レーザパワー出力を一定の値だけ増加させる。【効果】 無人化システムとして、長時間人の介在無く、一定のマーク品位を保つことができ、マーキング装置がレーザパワーを自動調整するため、必要以上の設定値とする必要がなく、消耗部品の長寿命化,省エネルギー化が図れる。
請求項（抜粋）：
マーク検査装置及びレーザマーカを有するマーキング装置において、前記レーザマーカのパワー出力値と予め設定された基準値とを比較する比較手段と、前記マーク検査装置による検査結果が不良と判断された場合又は前記比較手段によって前記レーザマーカのパワー出力値が前記基準値より小さいと判断された場合に、前記レーザマーカのパワー出力を所定値まで増加させるパワー出力調整手段とを設けたことを特徴とするマーキング装置。
IPC (5件)：
H01L 21/02
, H01L 21/268
, H01L 21/28
, H01L 21/66
, H01L 23/00
