特許

J-GLOBAL ID：200903052658623503

三次元測定用プローブ

発明者： 吉住 恵一 ,  久保 圭司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053382
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265340
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】 非球面レンズ等の自由曲面の形状測定,面粗さや段差の形状測定等を高精度に低測定圧で測定できる三次元測定用プローブを提供することを目的とする。【構成】 エアー軸受けで構成されたZ座標方向に移動可能なしゅう動部を有する可動部のZ方向端部に設けられたスタイラスとこの可動部のZ座標を測定する手段とを有することにより、精度良く、測定面のZ座標を測定できる。

請求項（抜粋）：

エアー軸受けで構成されたZ座標方向に移動可能なしゅう動部を有する可動部のZ方向端部に設けられたスタイラスとこの可動部のZ座標を測定する測定手段を備えた三次元測定用プローブ。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 5/20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-279807
  
• 特開昭51-143144
  
• 特開昭59-043306
  
• 特開昭63-215989