特許
J-GLOBAL ID：200903052664511970

圧電振動子とその製造方法

発明者：
杉本 雅人

杉本 雅人 について

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武田 克

武田 克 について

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冨田 佳宏

冨田 佳宏 について

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川崎 修

川崎 修 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098972
公開番号（公開出願番号）：特開平10-051262
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 高性能で安価な圧電振動子とその製造方法を提供する。【解決手段】 ほぼ同じ厚みの2枚の圧電性単結晶11、12の分極軸をほぼ反転して他の結晶軸は互いのなす角度が0度を含まない角度をもってずらして、接着材を用いずに直接接合により分極反転ウエハを構成し、分極反転ウエハの2主面に駆動電極13を形成して圧電振動子を構成する。この圧電振動子は、分極反転構造を有し、厚みを1波長として共振する偶数次振動モードを用いる。直接接合により、発振周波数のばらつきの原因となる分極反転層の厚みばらつきを抑え、また従来では閉じ込め不可能であった振動モードの励振を可能とする。さらに、角度をずらすことによりスプリアスを抑制する。
請求項（抜粋）：
自発分極を有し、自発分極の軸方向が互いにほぼ逆方向になるように、かつ、その他の結晶軸は互いのなす角度が0度を含まないある角度をもってずれるように直接接合により一体化された2枚の圧電性単結晶板と、前記直接接合された圧電性単結晶板の2つの主面に互いに対向して形成された駆動電極とからなることを特徴とする圧電振動子。
IPC (2件)：
H03H 9/17 ,  H03H 3/02
FI (2件)：
H03H 9/17 E ,  H03H 3/02 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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