特許

J-GLOBAL ID：200903052665243155

ガルバノミラー

発明者： 高橋 淳一 ,  堀口 浩幸 ,  尾崎 元美
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275845
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119280
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 ミラー部の傾斜角度を精度良くコントロールすることが可能で、そのミラー部の横すべりやエッジ部での破壊を防止することが可能なガルバノミラーを提供する。【構成】 両端をトーションバー8により支持されたミラー面10を有するミラー部9と、ミラー面10の裏面側と対向する位置の基板7上に設けられた電極部12a,12bとを備え、この電極部12a,12bとミラー面10の裏面との間で静電引力を作用させることによりミラー面10の傾斜角度を変化させるガルバノミラーにおいて、トーションバー8に歪ゲージR1〜R4を形成し、歪ゲージR1〜R4の抵抗値の変化を測定してミラー面10の傾斜角度θを制御するミラー面傾斜角度制御手段を設けた。

請求項（抜粋）：

両端をトーションバーにより支持されたミラー面を有するミラー部と、前記ミラー面の裏面側と対向する位置の基板上に設けられた電極部とを備え、この電極部と前記ミラー面の裏面との間で静電引力を作用させることにより前記ミラー面の傾斜角度を変化させるガルバノミラーにおいて、前記トーションバーに歪ゲージを形成し、前記歪ゲージの抵抗値の変化を測定して前記ミラー面の傾斜角度を制御するミラー面傾斜角度制御手段を設けたことを特徴とするガルバノミラー。