特許
J-GLOBAL ID：200903052668921782
真空加熱炉
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219654
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060464
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 真空加熱炉の耐圧気密容器内の中心部に発熱体を付加することにより、真空下における600°C以下での被加熱物の昇温速度を大きくして加熱効率を高めると、中心部発熱体の存在によって1バッチ当たりの被加熱物数が減少するにも拘らず生産性を向上させることができる。【構成】 加熱炉の容器7内に、被加熱物を載置する複数の棚板2を備えた「さや」(被加熱物収納容器)1を設け、さや1の中央部に炉の軸心に添って内部発熱体用の空間を構成し、その空間に発熱線5を埋設した内部発熱体3を装着する。内部発熱体3と、発熱体6により被加熱物を均一に加熱する。11は排気配管、12はトラップ、13は真空ポンプである。
請求項（抜粋）：
炉壁に発熱体を装着し被加熱物を被加熱物収納容器上に配設して挿入加熱する真空加熱炉において、加熱炉の内部空間に別の発熱体を併設したことを特徴とする真空加熱炉。
IPC (2件)：
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