特許
J-GLOBAL ID：200903052672114450

クリーンルーム

発明者：
草野 直由

草野 直由 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163214
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357346
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 クリーンクラス1000以下、10000以下または100000以下程度のクリーンルームにおいて、省エネルギーかつ低ランニングコストを実現するクリーンルームを得る。【解決手段】 クリーンルームにおいて、クリーン度の上限を設定し、クリーン度のオンライン測定データに基づいて空調機の送風量を自動制御することにより、前記上限設定範囲内にクリーン度を制御する。
請求項（抜粋）：
クリーン度の上限を設定し、クリーン度のオンライン測定データに基づいて空調機の送風量を自動制御することにより、前記上限設定範囲内にクリーン度を制御することを特徴とするクリーンルーム。
IPC (4件)：
F24F 7/06 ,  F24F 11/02 ,  F24F 11/02 103 ,  F24F 11/04
FI (4件)：
F24F 7/06 C ,  F24F 11/02 K ,  F24F 11/02 103 C ,  F24F 11/04 F
Fターム (11件)：
3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BG04 ,  3L060AA08 ,  3L060CC19 ,  3L060DD08 ,  3L060EE06 ,  3L061BA03 ,  3L061BA06 ,  3L061BE03 ,  3L061BF08
引用特許：
審査官引用 (7件)
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