特許
J-GLOBAL ID：200903052684924058
アライメントユニットの調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269760
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167068
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 ダイシング装置等のアライメント手段における撮像手段を傷付けずに且つ歪みが生じる事無く微調整できるようにしたアライメントユニットの調整方法を提供する。【解決手段】 顕微鏡と撮像手段とを、スリ割りリングを有する連結手段で連結してアライメントユニットを構成する。このアライメントユニットの調整は、ウェーハに形成された切削ラインを撮像しモニターに写し出すステップと、連結手段のスリ割りリングを緩め撮像手段の被結合部が顕微鏡に対して回転可能な状態にするステップと、モニターに表示されているヘアーラインと切削ラインとを平行に合わせるために撮像手段を回転し調整するステップと、調整が完了した後撮像手段を固定するためにスリ割りリングを締結するステップと、から構成する。
請求項（抜粋）：
顕微鏡と、撮像手段と、前記顕微鏡に固定する固定部と前記撮像手段の被結合部を締め付け固定するスリ割りリングとから構成される連結手段と、からアライメントユニットを構成し、前記顕微鏡と撮像手段との調整を行うアライメントユニットの調整方法であって、ウェーハに形成された切削ラインを前記アライメントユニットによって撮像しモニターに写し出すステップと、前記連結手段のスリ割りリングを緩め前記撮像手段の被結合部が前記顕微鏡に対して回転可能な状態にするステップと、前記モニターに表示されているヘアーラインとこのモニターに写し出された切削ラインとを平行に合わせるために前記顕微鏡に対して前記撮像手段を回転し調整するステップと、前記モニターに写し出された切削ラインとヘアーラインとが平行となり調整が完了した後前記顕微鏡に対して前記撮像手段を固定するために前記スリ割りリングを締結するステップと、から構成されるアライメントユニットの調整方法。
IPC (5件)：
G02B 21/36
, H01L 21/68
, H01L 21/301
, H04N 5/225
, B23Q 17/24
G02B 21/36
, H01L 21/68 F
, H04N 5/225 D
, B23Q 17/24 Z
, H01L 21/78 C
