特許
J-GLOBAL ID：200903052686658649
連続薄膜コーティング装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-183865
公開番号（公開出願番号）：特開2004-025003
出願日： 2002年06月25日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】ガラス基板を複数保持可能な基板保持器を用いることにより、ガラス基板を接続することなく、またガラス/接続部界面を発生させることなく、連続塗布を可能とする装置を提供することにより、スリットダイ方式における塗布動作変化時の膜厚均一性向上、タクトタイムの向上。【解決手段】ガラス基板1を流体による浮上又は真空吸着させる微細孔4を有するベースプレート2と、ベースプレート2の上にガラス基板1を1枚又は複数枚格納し保持する基板保持器3と、基板保持器3にガラス基板1を供給する供給部と、ベースプレート2の上に基板保持器3により保持されている各ガラス基板1に対して塗液を連続的に塗布するダイヘッド5と、ガラス基板1又は基板保持器3とダイヘッド5とのギャプを調整するZ軸調整部と、ダイヘッド5に塗液を供給する塗液供給部と、塗布後の各ガラス基板を排出する排出部とを備えることを連続薄膜コーティング装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガラス基板を流体による浮上又は真空吸着させる微細孔を有するベースプレートと、ベースプレートの上にガラス基板を1枚又は複数枚格納し保持する基板保持器と、基板保持器にガラス基板を供給する供給部と、ベースプレートの上に基板保持器により保持されている全てのガラス基板に対して塗液を連続して塗布するダイヘッドと、ガラス基板又は基板保持器とダイヘッドとのギャプを調整するZ軸調整部と、ダイヘッドに塗液を供給する塗液供給部と、塗布後の全てのガラス基板を排出する排出部とを備えることを特徴とする連続薄膜コーティング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA22
, 4F041BA38
, 4F041CA02
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042DF07
, 4F042DF09
, 4F042DF25
, 4F042DF29
, 4F042ED05
