特許
J-GLOBAL ID：200903052697001536
冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-047853
公開番号（公開出願番号）：特開2004-257629
出願日： 2003年02月25日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】冷却ステージの冷却時間をより一層短縮することができる冷却装置を提供する。【解決手段】冷却装置1は、サンプルを保持する冷却ステージ2に接触・離間可能な液体窒素タンク6を有する。この液体窒素タンク6は、断熱棒8を介してベローズ7と接続されており、このベローズ7の圧力を調整するために、ベローズ7の中空部と連通する配管11と、この配管11に設けられる三方弁10とを有する。さらに、この三方弁10の一端は、大気に開放されており、他端は、真空ポンプ9に接続されている。三方弁10を大気側と連通させることで、ベローズ7内を大気圧とし、冷却ステージ2に液体窒素タンク6を接触させることができる。一方、三方弁10を真空ポンプ9側に切り替えることで、ベローズ7内を真空(低圧)状態とし、冷却ステージ2から液体窒素タンク6を離間させることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被冷却体を保持する被冷却体保持部と、
該被冷却体保持部を冷却するための冷凍部を有する冷凍機と、
前記被冷却体保持部と前記冷凍部とを収容する真空容器と、
該真空容器内に配置される冷源と、
前記冷源を前記被冷却体保持部に接触・離間させるための冷源駆動機構と、
を有することを特徴とする冷却装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F25B9/00 Z
, F25B9/00 H
, F25D3/10 E
3L044AA04
, 3L044BA05
, 3L044CA12
, 3L044DB03
, 3L044EA04
, 3L044FA08
, 3L044GA01
, 3L044KA01
, 3L044KA04
, 3L044KA05
