特許
J-GLOBAL ID：200903052708449631
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009802
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197141
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【構成】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸,アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマとして、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用いる感光性組成物。【効果】感度を増すことができる。
請求項（抜粋）：
水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸,アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマとして、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用いることを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/012 501
, G03F 7/031
, G03F 7/038 501
, H01J 31/20
, H01L 21/027
