特許

J-GLOBAL ID：200903052721569735

集積型薄膜太陽電池の製造方法およびパターニング装置

発明者： 島川 伸一 ,  室 真弘 ,  根上 卓之 ,  高橋 正行 ,  北川 雅俊
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281845
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315809
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 膜へのダメージが少ないパターニング方法を用いることによって、特性が高い集積型薄膜太陽電池を歩留まりよく製造できる集積型薄膜太陽電池の製造方法およびパターニング装置を提供する。【解決手段】 半導体膜92をストライプ状に除去してパターニングする際に、除去する部分の外周部に溝形成工具15によって溝を形成したのち、スクレイパー16によって半導体膜92を剥離する。上部電極膜も同様の方法でパターニングする。

請求項（抜粋）：

直列接続された2以上の太陽電池ユニットセルを絶縁性基板上に形成する集積型薄膜太陽電池の製造方法であって、前記絶縁性基板の一主面上に下部電極膜を形成したのち、前記下部電極膜を短冊状に分割する第1の工程と、前記下部電極膜上に、pn接合を含む半導体膜を形成する第2の工程と、前記半導体膜の一部をストライプ状に除去することによって前記半導体膜を短冊状に分割する第3の工程と、前記半導体膜および前記半導体膜が除去されて露出した前記下部電極膜上に上部電極膜を形成する第4の工程と、前記半導体膜および前記上部電極膜の一部を共にストライプ状に除去することによって前記上部電極膜を短冊状に分割する第5の工程とを含み、前記第3および第5の工程から選ばれる少なくとも一つの工程は、除去される前記一部の外周部に溝を形成し前記一部を剥離する工程を含むことを特徴とする集積型薄膜太陽電池の製造方法。

FI (2件)：

H01L 31/04 E ,  H01L 31/04 S

Fターム (4件)：

5F051EA02 ,  5F051EA10 ,  5F051EA11 ,  5F051EA13