特許
J-GLOBAL ID：200903052723394428
ウエーハキヤリア保管箱搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-217720
公開番号（公開出願番号）：特開平5-058450
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】半導体装置を製造する際のウェーハを収納するウェーハキャリア保管箱を搬送する空搬送台車数をコントロールすることによって、最適の搬送効率および最短の搬送時間で搬送する。【構成】車輪のついた金属板2を有するウェーハキャリ保管箱1と、ウェーハキャリア保管箱1が車輪をガイドにして走行できる搬送レール5と、ウェーハキャリア保管箱1を走行させる動力となるリニアモーター6と、リニアモーター6を駆動制御するリニアモーター電源7及びリニアモーターコントローラ8とを有している。
請求項（抜粋）：
半導体装置を製造する際のウェーハを複数枚収納するウェーハキャリアを保管し搬送するウェーハキャリア保管箱搬送装置において、車輪のついた金属板を有する前記ウェーハキャリア保管箱と、このウェーハキャリア保管箱が前記車輪をガイドにして走行できる搬送レールと、このウェーハキャリア保管箱を走行させる動力となるリニアモーターと、このリニアモーターを駆動制御するリニアモーター電源及びリニアモーターコントローラとを有する事を特徴とするウェーハキャリア保管箱搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 54/02
, B60L 13/02
, B61D 27/00
, H01L 21/68
