特許
J-GLOBAL ID:200903052724042487
固体レーザ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-210660
公開番号(公開出願番号):特開平5-055668
出願日: 1991年08月22日
公開日(公表日): 1993年03月05日
要約:
【要約】【目的】 固体レーザにおいて、励起用ランプへの供給エネルギーを制御することにより、パルスレーザ発振のパルスエネルギーの波形を変化させ、レーザエネルギーの過多または不足等のない、安定で適正なレーザ加工が行える固体レーザ装置を提供する。【構成】 従来の固体パルスレーザ用電源に、複数のサブコンデンサ9と、複数のスイッチング素子3,6,7,8と、ゲート信号制御回路12を付加し、複数のスイッチング素子3,6,7,8を連携させ種々の組合せで開閉させることにより、パルスレーザ発振の個々のパルスエネルギー波形を連続的かつ任意に変化させる。
請求項(抜粋):
主となるコンデンサと、その主となるコンデンサを充電するための充電電源と、主となるコンデンサへの充電電流を制限する第1のインダクタンスと、励起用ランプと、励起用ランプへの流入電流を制限するための第2のインダクタンスと、逆流防止用の第1のダイオードと、主となるコンデンサと励起用ランプと第2のインダクタンスと逆流防止用の第1のダイオードとに接続され閉回路を形成し主となるコンデンサの電荷の放電を制御する第1のスイッチング素子と、主となるコンデンサ以外に第2のコンデンサと、第2のコンデンサと励起用ランプと第2のインダクタンスとに接続され閉回路を形成し第2のコンデンサの放電を制御する第2のスイッチング素子と、第1のダイオードに第2のスイッチング素子を介して並列に接続された逆流防止用の第2のダイオードと第2のコンデンサの充放電を制御する第3のスイッチング素子の直列回路と、第1のスイッチング素子と第1のダイオードの直列回路に第2のスイッチング素子を介して並列に接続された逆流防止用の第3のダイオードと第2のコンデンサの充放電を制御する第4のスイッチング素子の直列回路と、前記4個のスイッチング素子を制御するゲート信号制御回路とからなり、励起用ランプによりレーザ媒質を励起する固体レーザ装置。
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