特許

J-GLOBAL ID：200903052737634308

配線材料及びそれを用いた配線基板

発明者： 井上 一吉
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-143312
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332262
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 Agを主成分とする合金(Ag合金)であって、ガラス基板やシリコン膜との密着性が改善された合金を実現し、このAg合金を用いた配線材料を提供することである。【解決手段】Ag、Zrを必須成分として、さらに、Au、Ni、Co、またはAlからなる群から選択された1種または2種以上の金属を含有するAg合金を、TFT-LCD等の配線材料として使用する。このような構成の配線材料をスパッタ法によってガラス基板やシリコンウェハ上に成膜したところ、電気抵抗が十分に低く、かつ、基板との強い密着強度が観察された。

請求項（抜粋）：

Ag、Zrを必須成分とし、さらに、Au、Ni、Co、またはAlからなる群から選択される1種または2種以上の金属を含有するAg合金からなる配線材料。

IPC (9件)：

H01L 21/285 ,  C22C 5/06 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26

FI (10件)：

H01L 21/285 S ,  C22C 5/06 Z ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/28 301 R ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26 Z ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 21/88 M

Fターム (102件)：

2H092GA11 ,  2H092GA14 ,  2H092GA24 ,  2H092GA28 ,  2H092GA31 ,  2H092GA32 ,  2H092GA36 ,  2H092GA45 ,  2H092HA02 ,  2H092HA06 ,  2H092HA12 ,  2H092HA13 ,  2H092HA14 ,  2H092HA16 ,  2H092HA19 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JB01 ,  2H092JB11 ,  2H092JB21 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092KA15 ,  2H092KA17 ,  2H092KA18 ,  2H092KB01 ,  2H092KB03 ,  2H092KB11 ,  2H092MA05 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA12 ,  3K007AB05 ,  3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CA03 ,  3K007CB01 ,  3K007CC01 ,  3K007DB03 ,  3K007GA00 ,  4M104AA01 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB08 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD17 ,  4M104DD22 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD64 ,  4M104EE03 ,  4M104EE17 ,  4M104GG08 ,  4M104HH08 ,  4M104HH16 ,  5F033GG04 ,  5F033HH14 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK14 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ92 ,  5F033RR06 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033XX10 ,  5F033XX13 ,  5F110AA03 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG42 ,  5F110GG44 ,  5F110HK06 ,  5F110HK33 ,  5F110HL07 ,  5F110NN02 ,  5F110NN12 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN41 ,  5F110NN72

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-108330
  
• 特開平1-108330
  
• 特開平1-108330