特許
J-GLOBAL ID：200903052743035130

基板検査方法及びその装置

発明者：
小室 考広

小室 考広 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206021
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055196
出願日： 2003年08月05日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】ガラス基板に対する検査時間を短縮すること。【解決手段】ライン照明光を集光レンズ6により集光してガラス基板2の表面に照射すると共に、ガラス基板2をX方向に移動し、このガラス基板2からのライン状の反射光を対物レンズ7により集光し、この対物レンズ7の結像面上に配置されたラインスリット8を通過させてライン撮像装置11に入射するというライン共焦点光学系を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ライン状の照明光を基板上に走査する手段と、 前記基板上で反射したライン状の光を対物レンズを通して共焦点用のスリットに入射する手段と、 前記スリットを通過した光をラインセンサ上に結像する手段と、 前記ラインセンサの撮像により取得された画像データに基づいて前記基板の検査を行う手段と、を有することを特徴とする基板検査方法。
IPC (4件)：
G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500
Fターム (27件)：
2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF41 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL28 ,  2F065MM03 ,  2F065NN03 ,  2F065UU07 ,  2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051ED08 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC18
引用特許：
審査官引用 (8件)
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