特許
J-GLOBAL ID：200903052748483140
液体ディスペンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027029
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244092
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】例えばフォトレジストをウエハにスピンコートする際に液体を少量ずつ供給するディスペンサのノズルから液体供給後に無用な滴が垂れるのを防止して液体供給量の精度を向上させる。【構成】ウエハ1にスピンコートすべきフォトレジスト等の液体2を容器10から供給する細い管11の先端に細管状のノズル10を取り付け、その内面に液体2に濡れる内面コーティングCi, 外面に液体2には濡れない外面コーティングCoをそれぞれ施すことにより、液体の供給中には外面コーティングCoにより液体2を弾いてノズル10の外面に付着するのを防ぎ、供給停止後に内面コーティングCiにより液体2をノズルの内孔中に係止しないしは若干吸い込ませて、ノズル10から液体2の滴が垂れることがないようにする。
請求項（抜粋）：
液体を容器から細い管を介して所定の少量ずつ供給するディスペンサであって、管の供給先端に細管状のノズルを取り付け、ノズルの内面には供給液体により濡れる性質を,外面には供給液体によっては濡れない性質をそれぞれもたせたことを特徴とする液体ディスペンサ。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05B 1/00
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
