特許
J-GLOBAL ID：200903052756074720
イオン源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281410
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169428
出願日： 1988年10月18日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 高周波電圧印加に基づく高周波放電のプラズマ生成により供給量の制限なく電子を放出してイオン化ガスのプラズマを生成し、イオンビームを引き出す。【構成】 ガス導入口30が形成され,高周波電圧の印加に基づく高周波放電により副プラズマ38を生成する絶縁体の副筐体28と、この副筐体28に連設された主筐体36と、副筐体28の蓋板34と、この蓋板34に形成された電子放出孔35と、副筐体28内の電極33を主筐体36より低電位に保持し,電子放出孔35から主筐体36内に供給された電子を利用した直流放電により主プラズマ39を生成するアーク電源12と、主プラズマ39からイオンビームを引き出すイオンビーム引出し電極群7とを備える。
請求項（抜粋）：
電離用のガス導入口が形成され,高周波電圧の印加に基づく高周波放電により電子放出用の副プラズマを生成する絶縁体の副筐体と、前記副筐体に連設された主筐体と、前記副筐体の前記主筐体側に前記副筐体に一体に形成された蓋板と、前記蓋板に形成された電子放出孔と、前記副筐体内の電極を前記主筐体より低電位に保持し,前記電子放出孔から前記主筐体内に電子を供給し,直流放電により前記主筐体内に主プラズマを生成する直流電源と、前記主プラズマからイオンビームを引き出すイオンビーム引出し電極とを備えたことを特徴とするイオン源装置。
IPC (2件)：
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