レジスト剥離方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322342
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194806
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、カラーフィルター製造工程において、レジスト剥離の際に樹脂ブラックマトリクスや着色層にクラックが発生することがなく、かつ、該レジストを剥離することができる優れたレジスト剥離方法を提供せんとするものである。【解決手段】本発明のレジスト剥離方法は、第一の膜とレジスト膜からなる積層パターン形成物から該レジスト膜を剥離用溶剤を用いて剥離するレジスト剥離方法において、該剥離用溶剤として、該剥離用溶剤に水分を添加するか、または、該剥離用溶剤に該第一の膜を形成するために使用された樹脂溶液組成物の溶剤と同一の溶剤を添加することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

第一の膜とレジスト膜からなる積層パターン形成物から該レジスト膜を剥離用溶剤を用いて剥離するレジスト剥離方法において、該剥離用溶剤に水分を添加することを特徴とするレジスト剥離方法。

IPC (4件)：

G03F 7/42 , B05D 3/10 , G02B 5/20 101 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/42 , B05D 3/10 N , G02B 5/20 101 , H01L 21/30 572 B

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