特許

J-GLOBAL ID：200903052765801546

研磨液用洗浄剤組成物

発明者： 川島 雅博 ,  田中 義和
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020500
公開番号（公開出願番号）：特開平10-219300
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：

【要約】【課題】 研磨材を含有する研磨液用の洗浄剤組成物であって、研磨材に対する浸透性、排水中への排出性が高く、洗浄性に優れた洗浄剤組成物を提供する。【解決手段】 研磨材に対する吸着量が2mg/m2 以上であり、23°Cで測定した10vol%水溶液の表面張力が30dyne/cm以下である洗浄剤組成物。【効果】 洗浄剤の表面張力が小さいことから、研磨した面から研磨材を短時間で剥離除去することができる。研磨材に対する洗浄剤の吸着量が多いことから、剥離した研磨材の再付着を防止して排水中に効率的に排出することができる。

請求項（抜粋）：

研磨材を含有する研磨液用の洗浄剤組成物であって、該研磨材に対する吸着量が2mg/m2 以上であり、23°Cで測定した10vol%水溶液の表面張力が30dyne/cm以下であることを特徴とする研磨液用洗浄剤組成物。

IPC (4件)：

C11D 17/00 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

C11D 17/00 ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 C ,  G11B 5/84 A