クリーンルーム用ストッカー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194854
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025912
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】多段に収納するクリーンルーム用ストッカーの清浄度維持に関する。カセットに付着していたゴミや、カセットと仕切り板との擦れで発生したゴミなどが下方に落下し、下部に置いていたカセットやウェハに付着する課題があった。【解決手段】中央の移載ロボット1の両脇に多段収納棚を配置し、カセット2は、空気の流れを保つ開口をもった仕切り板3上に収納される。最上部全面からはファン・フィルターユニット4より清浄空気を秒速0.2〜0.5mで吹出す。各収納段下部の仕切り板3の下にファン・フィルターユニット7を設置し、各段下部で空気を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出す。収納棚側面はパーテーションによって外部環境と遮蔽されている。格段の清浄空気吹出し速度を揃えることにより、カセット2の収納部では各段上部ファン・フィルターユニット4からの鉛直層流で清浄度を保持される。

請求項（抜粋）：

上下に多段で収納するクリーンルーム用ストッカーにおいて、各段上部に清浄空気吹出しユニットと、各段下部に空気吸込みユニットを具備し、前記各段下部空気吸込みユニットと、その下段の前記各段上部清浄空気吹出しユニットとを一体としたファン・フィルターユニットで構成し、各段内で鉛直層流を維持することを特徴とするクリーンルーム用ストッカー。

IPC (2件)：

B65G 1/00 521 , F24F 7/06

FI (2件)：

B65G 1/00 521 D , F24F 7/06 C

Fターム (11件)：

3F022BB09 , 3F022EE05 , 3F022FF01 , 3F022KK20 , 3F022MM00 , 3L058BD01 , 3L058BE02 , 3L058BF01 , 3L058BF03 , 3L058BF08 , 3L058BG03

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