特許
J-GLOBAL ID:200903052769645166

電気銅めつき法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 押田 良久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-287109
公開番号(公開出願番号):特開平5-098491
出願日: 1991年10月07日
公開日(公表日): 1993年04月20日
要約:
【要約】【目的】 銅めっき被膜の表面平滑性と形状の正確性を十分に確保することができるような電気銅めっき法を提供することを目的とする。【構成】 金属表面に電気銅めっきを施すに際し、先ず初めに硫酸イオンおよび銅イオンを含有する溶液を用いて電気銅めっきを行ない、次に硫酸イオン、銅イオン、塩素イオンおよび銅めっき被膜の表面平滑剤を含有する溶液を用いて電気銅めっきを施すことを特徴とする電気銅めっき法。
請求項(抜粋):
金属表面に電気銅めっきを施すに際し、先ず硫酸イオンおよび銅イオンを含有する溶液を用いて電気銅めっきを行ない、次に硫酸イオン、銅イオン、塩素イオンおよび銅めっき被膜の表面平滑剤を含有する溶液を用いて電気銅めっきを施すことを特徴とする電気銅めっき法。
IPC (3件):
C25D 5/10 ,  C25D 3/38 101 ,  H05K 3/18

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