特許
J-GLOBAL ID：200903052773034104
電子顕微鏡の絞り装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008082
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215713
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】クリーニングの頻度を改善すると共に絞り板を絞り板としての機能とファラデーカップとしての機能を兼ね備えた電子顕微鏡の絞り装置を提供すること。【構成】絞り板は、上部絞り板2と下部絞り板4の二重構造になっており、下部絞り板絞り穴9の穴径を上部絞り板絞り穴8の穴径より大きくする。絞られた電子線3は、下部絞り板4により軌道を阻害されることなく絞り装置として作用する。また、この絞り穴は複数設けてある。ファラデーカップとしての機能は、下部絞り板絞り穴9の位置に電子線を吸収する物質6を設けることにより絞られた電子線3の電流値を電流計7で計測する。
請求項（抜粋）：
絞り板を二重構造にすることにより絞り板としての機能とファラデーカップとしての機能を兼ね備えたことを特徴とする電子顕微鏡の絞り装置。
IPC (3件)：
H01J 37/09
, H01J 37/04
, H01J 37/28
