特許

J-GLOBAL ID：200903052780373534

ポジ型感光性ポリイミド組成物

発明者： 板谷 博 ,  松本 俊一
出願人/特許権者： 株式会社ピーアイ技術研究所
代理人 (1件)： 谷川 英次郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1998004577
公開番号（公開出願番号）：WO1999-019771
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 1999年04月22日
要約：

【要約】有機溶剤に可溶で、しかも接着性、耐熱性、機械的特性及びフレキシブル性に優れ、光照射によってアルカリ可溶の高感度ポジ型フォトレジストの特性を示す感光性ポリイミド組成物が開示されている。本発明の感光性ポリイミド組成物は、光酸発生剤と、該光酸発生剤の存在下にポジ型感光性を示す溶剤可溶のポリイミドとを含む。

請求項（抜粋）：

光酸発生剤と、該光酸発生剤の存在下にポジ型感光性を示す溶剤可溶のポリイミドとを含むポジ型感光性ポリイミド組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/039 ,  C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46

FI (9件)：

G03F 7/039 ,  C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/022 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46 ,  H01L 21/30 573