距離計測方法及び露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-094268
公開番号（公開出願番号）：特開2009-244808
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：

【課題】計測範囲が狭く計測距離が限られ、ホールド機能を備えた距離センサを用いて、高精細な画像露光を可能とする。【解決手段】制御ユニットは、予めレーザー光源部を発光させて、基板材料を載置した移動テーブルの計測移動を開始し、距離計測のタイミングとなると、距離センサで計測される距離Dを読込み、計測終了タイミングで距離Dの読込みを終了する(ステップ100〜110)。この後、基板材料への走査露光が開始されたか否かを確認し、露光処理が開始されるとレーザー光源部の発光を停止し、距離センサでの計測値のホールドを解除し(ステップ112、114)、計測値がホールドされていることにより、有効レンジ外の基板材料に対して誤計測が生じるのを防止する。また、基板材料への走査露光が終了すると、レーザー発光部での発光を開始し、次の基板材料に対する距離計測が可能となるようにして(ステップ116、118)。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

支持体の表面に感光層が形成された露光対象を走査しながら光ビームを照射して露光するときに、露光対象までの距離に応じて焦点距離を調整する露光装置において、計測対象までの距離が予め設定された所定範囲であるときに、光源で発光されて計測対象へ照射されるレーザー光の反射光を受光部で受光することにより計測対象までの距離を計測可能であり、かつ、計測対象の端部で計測値が変化して前記計測範囲を外れたときに前記所定範囲で最前の計測値を保持すると共に、計測値が前記所定範囲を超えている間は、該計測値の保持を継続する保持手段が形成された距離センサを用い、前記露光対象を前記計測対象として前記焦点位置を調整するための距離を計測する距離計測方法であって、前記露光対象が前記距離センサの光照射位置を通過するのに先立って、前記光源からの発光を開始して、前記露光対象が前記距離センサの光照射位置を通過するときに、露光対象までの距離を計測し、次の前記露光対象に対する距離の計測に先立って、前記保持手段による前記計測値の保持解除を行う、ことを特徴とする距離計測方法。

IPC (5件)：

G03F 9/02 , G01B 11/00 , G01C 3/06 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (6件)：

G03F9/02 Z , G01B11/00 B , G01C3/06 110A , H01L21/30 526A , H05K3/00 G , H05K3/00 H

Fターム (22件)：

2F065AA06 , 2F065BB01 , 2F065CC01 , 2F065CC25 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065QQ02 , 2F065QQ23 , 2F112AA08 , 2F112CA07 , 2F112FA05 , 2F112FA19 , 2F112FA45 , 2H097BA01 , 2H097GB02 , 2H097LA09 , 5F046DA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

実開平5-34595号公報
距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-059786 出願人：日本電信電話株式会社

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