特許
J-GLOBAL ID：200903052782266549
圧電セラミックス及び電気-機械変換素子の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-063683
公開番号（公開出願番号）：特開2004-269321
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】圧電セラミックスとしての性能を満足する均一で緻密な焼結体を生産性よく製造できるようにした圧電セラミックス及び電気-機械変換素子の製造法を提供する。【解決手段】一対の電極13,14間に、焼結させることによって圧電セラミックスを形成するセラミックス原料30を配置する。耐熱性の通電可能な材料からなる容器20で前記電極13,14及び前記セラミックス原料30を囲み、前記セラミックス原料30に10〜100Paの圧力を印加しつつ、前記電極間13,14に電圧を印加して通電加熱することにより、前記セラミックス粉末30を700〜1300°Cで30分〜120分間加熱して焼結させる。また、電気-機械変換素子を構成する構造体上に、上記セラミックス原料を設置して焼結させることもできる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
焼結させることによって圧電セラミックスを形成するセラミックス原料を一対の電極間に配置し、耐熱性の通電可能な材料からなる容器で前記電極及び前記セラミックス原料を囲み、前記セラミックス原料に10〜100MPaの圧力を印加しつつ、前記電極間に電圧を印加して通電加熱することにより、前記セラミックス粉末を700〜1300°Cで30分〜120分間加熱して焼結させることを特徴とする圧電セラミックスの製造法。
IPC (3件)：
C04B35/64
, H01L41/187
, H01L41/24
C04B35/64 E
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 A
審査官引用 (8件)
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酸化物微粒子の高密度焼結方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-127948
出願人：工業技術院長, 住友石炭鉱業株式会社
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圧電磁器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-287689
出願人：ティーエフティー株式会社
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特開平2-116680
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