特許

J-GLOBAL ID：200903052786320076

カラーブラウン管用シヤドウマスク検査装置

発明者： 梅田 治彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-182494
公開番号（公開出願番号）：特開平5-028913
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 シャドウマスクに形成された微細孔の開口むらの検査が容易で、短時間のうちに正確に行うことができるカラーブラウン管用シャドウマスク検査装置を提供する。【構成】 シャドウマスク11に形成した多数の微細孔12の開口むらを検査する。シャドウマスク11を間にして、裏面側および表面側に棒状又は線状の光源16および棒状の集光レンズ17を互いに平行に配置する。集光レンズ17により集光された像を撮像して微細孔の開口面積に対する光量分布データを得る撮像素子18を設けて検査光学系20を構成する。検査光学系20とシャドウマスク11とを、移動機構21により面方向に沿って相対的に移動させながら、微細孔12を通して集光レンズ17により集光した像を撮像素子18で撮像する。微細孔12の開口面積に比例する光量分布データを得る。

請求項（抜粋）：

シャドウマスクに形成された多数の微細孔の開口むらを検査するカラーブラウン管用シャドウマスク検査装置において、前記シャドウマスクを間にしてその裏面側および表面側に互いに平行となるように配置された線状の光源および線状の集光レンズ、および、この集光レンズにより集光された像を撮像して前記微細孔の開口面積に比例する光量分布データを得る撮像素子を有する検査光学系と、この検査光学系および前記シャドウマスクを、シャドウマスクの面方向に沿って相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするカラーブラウン管用シャドウマスク検査装置。