特許

J-GLOBAL ID：200903052798062056

共焦点光学装置

発明者： 松野 清伯 ,  若井 秀之 ,  鈴木 徹 ,  安藤 学 ,  須田 江利
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-085570
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274139
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】共焦点光学系に用いるレンズの性能を上げることなく、収差および歪曲を確実に吸収して、正確且つ高精度の測定をなし得るようにする。【解決手段】配列された複数の点光源による光を発生する点光源アレイと、この点光源アレイから発生された光を検査面上に集光する対物レンズと、 前記検査面上の被計測物体で反射された光を前記対物レンズを介して受光する複数の受光部が配列された受光アレイとを具えた共焦点光学装置において、前記対物レンズの収差に応じて前記受光アレイの各受光部の大きさを変化させるようにしている。

請求項（抜粋）：

配列された複数の点光源による光を発生する点光源アレイと、この点光源アレイから発生された光を検査面上に集光する対物レンズと、前記検査面上の被計測物体で反射された光を前記対物レンズを介して受光する複数の受光部が配列された受光アレイと、を具えた共焦点光学装置において、前記対物レンズの収差に応じて前記受光アレイの各受光部の大きさを変化させるようにしたことを特徴とする共焦点光学装置。