特許

J-GLOBAL ID：200903052802142221

双晶の形成方法、水晶振動片の製造方法、水晶振動片および水晶デバイス

発明者： 中村 英明 ,  伯耆原 秋
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-142054
公開番号（公開出願番号）：特開2004-048717
出願日： 2003年05月20日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】逆メサ型水晶振動片の強度を確保しつつ、エネルギー閉じ込め効果を得ることが可能な、水晶振動片およびその製造方法の提供を目的とする。【解決手段】水晶振動片における所定部位の表面に金属被膜を形成し、前記金属被膜の表面に低融点金属を配置し、加熱して前記低融点金属を溶融させることにより、前記所定部位を双晶化する構成としたので、水晶振動片の所定部位を、選択的かつ確実に双晶化することができる。そして、逆メサ型水晶振動片20の励振電極26形成部分の周辺部に、双晶部30を形成した構成としたので、逆メサ型水晶振動片20の強度を確保しつつ、エネルギー閉じ込め効果を得ることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

水晶基板の表面に金属被膜を形成し、前記金属被膜の表面に低融点金属を配置し、加熱して前記低融点金属を溶融させることにより、前記金属被膜下の前記水晶基板を双晶化することを特徴とする双晶の形成方法。

IPC (2件)：

H03H3/02 ,  H03H9/19

FI (2件)：

H03H3/02 B ,  H03H9/19 E

Fターム (6件)：

5J108BB02 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11