特許
J-GLOBAL ID：200903052803983300
高周波装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336682
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201302
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 大きな負荷変動が発生しても、直ちに2種のRF電力の位相差を安定化することができる高周波装置を実現する。【構成】 チャンバー6内でのアーク放電の発生など、大きな負荷変動があり、上限設定信号源15からの信号値以上の出力電圧が演算増幅器11から発生した場合には、上限設定信号が位相制御信号Vcとして位相制御回路2に供給される。従って、特性が元の状態に戻った時、フィードバックループが正常に働き、演算増幅器11の出力信号に基づいて電極7,8に供給される高周波電力の位相差は、所定の値とされ、安定した動作を行わせることができる。一方、大きな負荷変動により、演算増幅器11の出力電圧が0V近くになり、下限設定信号源16からの信号値以下となっても、位相制御信号Vcの値は下限設定値以下とはならず、特性が元の状態に戻ったときには、直ちに安定したフィードバック動作を行わせることができる。
請求項（抜粋）：
高周波発振器と、高周波発振器からの高周波電力を増幅する第1と第2の増幅器と、増幅された高周波電力が供給される一対の電極と、一方の電極に印加される高周波電力の位相を制御する位相制御回路と、一対の電極に印加される高周波電力のそれぞれの位相を検出し、その位相差に応じた信号を発生する位相検出回路と、位相検出回路からの信号に応じて2種の高周波電力の位相差を所定値とするための位相制御信号を発生し、その信号を位相制御回路に供給するための制御回路と、位相制御回路に供給される位相制御信号に上限と下限を設定する手段とを備えた高周波装置。
IPC (3件)：
H01J 37/32
, C23C 14/34
, C23C 14/40
