特許
J-GLOBAL ID：200903052828071179
外観検査装置および方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-029419
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232750
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：
【要約】【課題】 イントレー状態の半導体パッケージの検査に好適な外観検査装置を提供する。【解決手段】 トレー9中のトレーポケットに斜光照明装置3および4方向面照明装置4から光が照射するように配設されている。斜光照明装置3は、被検査ICの表面領域から例えば10度乃至30度傾いた斜め上方から被検査物を照明するもので、蛍光管やLEDで構成することができる。また、4方向面照明装置4はトレーポケットに対し、外側4方向から内側へ光を集めるもので乱反射光が著しく低減される。このため、例えば被検査ICのリード先端の映り込みを防止でき、映り込み面積を小さくすることができる。これら照明装置は、リード検査あるいはモールド検査といった外観検査モードに対応して切替て使用することができる。
請求項（抜粋）：
被検査物を収容したトレーを載置する検査ステージと、この検査ステージを2次元で位置制御するリニアアクチュエータ群と、被検査物の表面を照明する照明装置と、この照明装置からの照明光を受けた前記被検査物を上方から撮像して、前記被検査物の表面領域全体を包含する画像を出力する撮像装置と、この撮像装置から出力された画像データを取り込み、予め搭載した検査項目に対応した所定の解析プログラムにより、前記画像データを解析して前記被検査物の外観を検査する画像処理ユニットとを備えたことを特徴とする外観検査装置。
Fターム (12件)：
2G051AA61
, 2G051AA62
, 2G051AB03
, 2G051AB10
, 2G051BA01
, 2G051BA02
, 2G051BB02
, 2G051CA04
, 2G051CC09
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EB01
