特許

J-GLOBAL ID：200903052833308187

透過型顕微鏡

発明者： 米澤 良
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095407
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288992
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 コンフォーカルな光学系を有するレーザ顕微鏡において、試料の高品位な透過像を簡単な構成で表示するようにしたもの。【構成】 直線偏光されたレーザビームを音響-光学素子3によって主走査方向に偏向した後、偏光ビームスプリッタを経て振動ミラー5によって副走査方向に偏向し、第1対物レンズ6によって試料面7に投射し、その透過光を第2の対物レンズ8によって集光し、λ/4板10を経て凹面ミラー11によって反射させ、第2の対物レンズによって試料面にスポットとして照射し、試料面を透過した光ビームを第1対物レンズにより集光し、振動ミラーで反射させ、偏光ビームスプリッタで反射させて、CCD リニアアレイ12に入射させる。

請求項（抜粋）：

直線偏光された光ビームを放射する光源と、この光源から放射される光ビームを主走査方向に高速で偏向する第1の偏向手段と、この第1の偏向手段で偏向された光ビームを透過または反射する偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタから射出される光ビームを前記主走査方向に対して直交する副走査方向に低速で偏向する第2の偏向手段と、この第2の偏向手段で偏向された光ビームを試料上にスポットとして照射する第1の対物レンズと、この試料を透過した光ビームを集光する第2の対物レンズと、この第2の対物レンズで集光された光ビームを透過する1/4 波長板と、この1/4 波長板を透過した光ビームを反射して前記1/4 波長板を経て前記第2の対物レンズへ戻し、第2対物レンズによって前記試料にスポットとして照射させる反射光学系と、試料を透過し、前記第1の対物レンズで集光され、前記第2の偏向手段で偏向され、前記偏光ビームスプリッタを反射または透過する光ビームをスポット像として受光し、試料の画像信号を出力する1次元撮像手段と、この1次元撮像手段から出力される画像信号を受けて試料の透過像を表示する表示手段とを具えることを特徴とする透過型顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-188408
  
• 特開昭62-209510
  
• 特開平3-021913