ブラスト処理法とブラスト処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291078
公開番号（公開出願番号）：特開平6-143139
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：

【要約】【目的】本発明は、成膜装置のクリーニング法として常温常圧下で気体または液体の物質をブラスト材として用いるブラスト処理法に関し、ブラスト材等の異物が成膜装置本体等の被洗浄体の隙間で目詰まりを起こさないブラスト処理法を提供する。【構成】図において、ブラスト材9(例えば純水、炭酸ガス、アルコールなど)をブラスト材貯蔵タンク4より取り出し、ブラスト材凝固装置5にて圧縮、凝固しこのブラスト材9とドライエアー(または純水の貯蔵タンク)6より供給されるドライエアー(または純水)をコンプレッサー7により圧縮し、ノズル8よりブラスト材9を放出し、被洗浄体10に叩きつけて付着膜11を除去する。

請求項（抜粋）：

薄膜を成膜する成膜装置本体を構成する部材及び前記薄膜を堆積する基板を支持、搬送するトレイを被洗浄体とし、常温常圧下で気体または液体のブラスト材を冷却固体化し、これを被洗浄物に叩きつけることにより前記被洗浄体に堆積した薄膜を除去するブラスト処理法。

IPC (2件)：

B24C 1/00 , H01L 21/304 301

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-078477
特開昭63-093566
特開昭61-236472

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