特許
J-GLOBAL ID：200903052848527446
ウエハ搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277330
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139155
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 簡単な構造でウエハを非接触で保持して搬送するウエハ搬送装置を提供する。【構成】 ウエハ13の裏面13Aに対してガスを噴射してこのウエハ13を浮上させる複数の第1のノズル11と、ウエハ13の側面13Bに対してガスを噴射して浮上したウエハ13の位置ずれを防止する複数の第2のノズル12とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
ウエハの裏面に対してガスを噴射してこのウエハを浮上させる複数のノズルを有する第1のガス供給手段と、前記ウエハの側面に対してガスを噴射して浮上したウエハの位置ずれを防止する複数のノズルを有する第2のガス供給手段とが設けられたハンド部を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。
IPC (2件)：
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