特許
J-GLOBAL ID：200903052850519868
スパツタ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295348
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132774
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 スパッタ装置に関し,バッキングプレートを薄型化して磁場強度を上げて膜質制御を可能にし, バッキングプレートの軽量化と, 磁石の防錆とをはかることを目的とする。【構成】 1)表面にスパッタ材料であるターゲットを保持し且つ裏面に水冷用のジャケットを彫り込んだバッキングプレート本体に,裏面より蓋をして該ジャケット内に冷却水を通水できるようにしたバッキングプレートを有する,2)表面にターゲットを保持し且つ裏面にマグネトロンスパッタ用の磁石を保持する磁石室を有し,該磁石室が気密で排気できる構造であるように構成する。
請求項（抜粋）：
表面にスパッタ材料であるターゲットを保持し且つ裏面に水冷用のジャケットを彫り込んだバッキングプレート本体に,裏面より蓋をして該ジャケット内に冷却水を通水できるようにしたバッキングプレートを有することを特徴とするスパッタ装置。
IPC (2件)：
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