特許

J-GLOBAL ID：200903052858601237

板体加熱装置

発明者： 渡辺 文夫
出願人/特許権者： 助川電気工業株式会社
代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-203581
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036370
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 薄板状の加熱物をその背後から電子衝撃により加熱すると共に、加熱物をその電子衝撃用のフィラメントが配置された背後から温度測定するに当たり、測温素子の電子衝撃による温度測定値の上昇を防止し、正確に温度測定し、得られた温度測定値により、加熱物の加熱温度を正確に制御する。【解決手段】 板体加熱装置は、薄形平板状の加熱物aを載せる平坦な加熱部2を有する耐熱性の加熱物支持部材1と、この加熱物支持部材1の前記加熱部2の背後の空間部に設けられ、熱電子を発生するフィラメント9と、このフィラメント9で発生した熱電子を加熱物支持部材1の加熱部2に衝突させるを電子加速電源11と、前記加熱物支持部材1の加熱部2から発生する輻射熱を反射し、フィラメント9や加熱部2に対して電気的に独立したリフレクタ3とを有する。さらに、前記加熱部2の背後の空間部に測定点を配置した熱電対12を有し、この熱電対12とその測定点を囲むように、前記リフレクタ3と同電位に保持された筒状のシールド15を設ける。

請求項（抜粋）：

薄形平板状の加熱物(a)をその背面側から加熱する加熱部(2)の上に前記加熱物(a)を載せて加熱する板体加熱装置において、加熱物(a)を載せる平坦な加熱部(2)を有する耐熱性の加熱物支持部材(1)と、この加熱物支持部材(1)の前記加熱部(2)の背後の空間部に設けられ、熱電子を発生するフィラメント(9)と、このフィラメント(9)で発生した熱電子を加熱物支持部材(1)の加熱部(2)に衝突させる電子加速電源(11)と、前記加熱物支持部材(1)の加熱部(2)から発生する輻射熱を反射し、フィラメント(9)や加熱部(2)に対して電気的に独立したリフレクタ(3)と、前記加熱部(2)の背後の空間部に測定点を配置した測温素子と、この測温素子及びその測定点を囲み、前記リフレクタ(3)と同電位に保持された筒状のシールド(15)とを有することを特徴とする板体加熱装置。

IPC (3件)：

H05B 3/00 345 ,  G01K 7/02 ,  H05B 3/04

FI (3件)：

H05B 3/00 345 ,  G01K 7/02 Z ,  H05B 3/04

Fターム (34件)：

3K058AA02 ,  3K058AA42 ,  3K058AA72 ,  3K058AA86 ,  3K058BA00 ,  3K058CA03 ,  3K058CA23 ,  3K058CA51 ,  3K058CA91 ,  3K058CB06 ,  3K058CD01 ,  3K058CE11 ,  3K058CE19 ,  3K058CE29 ,  3K058EA01 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB09 ,  3K092QB13 ,  3K092QB32 ,  3K092QB49 ,  3K092QB80 ,  3K092QC41 ,  3K092QC67 ,  3K092RF03 ,  3K092RF30 ,  3K092SS14 ,  3K092SS47 ,  3K092UA05 ,  3K092UB01 ,  3K092UC02 ,  3K092UC07 ,  3K092VV16 ,  3K092VV22