特許
J-GLOBAL ID：200903052859495449
被膜形成用塗布液の貯蔵方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295293
公開番号（公開出願番号）：特開平6-142600
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【構成】 分子中にSi-H結合を有する有機ケイ素化合物および/またはその加水分解重縮合物が有機溶媒中に溶解または分散した被膜形成用塗布液を、水分量が1ppm以下の乾燥ガスを封入した密閉容器内で貯蔵する被膜形成用塗布液の貯蔵方法。【効果】 上記塗布液中で貯蔵中に微粒子の発生が抑制され、この結果、塗布液のポットライフが飛躍的に向上する。
請求項（抜粋）：
分子中にSi-H結合を有する有機ケイ素化合物および/またはその加水分解重縮合物が有機溶媒中に溶解または分散した被膜形成用塗布液を、水分量が1ppm以下の乾燥ガスを封入した密閉容器内で貯蔵することを特徴とする被膜形成用塗布液の貯蔵方法。
IPC (2件)：
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