ATRマッピング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360674
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190694
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】複数の測定ポイント毎に試料(試料ステージ)を上下動させることなく試料とATRプリズムを密着させたままマッピング分析を行う。【解決手段】試料13の表面に複数個の小さなATRプリズム11をXY方向に配置して密着させ、試料13(試料ステージ14)をカセグレン式対物鏡10(入射赤外光)に対してXY方向に移動させることにより、試料13上の複数ポイントで反射された赤外光を測定する。複数個のATRプリズム11の一個一個は、上部が半球状で下部は少し曲率を持たせた形状であり、これを樹脂などのプリズム枠15で囲んで形成される。このようなATRプリズム11の複数個がプリズムホルダ12にて保持され、試料13の表面上に密着配置される。

請求項（抜粋）：

試料よりも大きい屈折率を有するATRプリズムを試料表面に密着させ、ATRプリズムに対し臨界角以上の入射角で赤外光を入射し、プリズムと試料の境界で全反射された赤外光を測定して試料の分析をする方法において、試料表面に複数個のATRプリズムを縦横に密着配置し、試料と入射赤外光を相対的に移動させることにより、試料表面の複数ポイントで反射された赤外光を測定してマッピング分析を行うことを特徴とするATRマッピング方法。

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