特許
J-GLOBAL ID：200903052866272480
X線反射率測定用試料ホルダ及びこれを用いたX線反射率測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182486
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027052
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 被測定試料にX線を入射させて反射率を測定する際に、0°なる原点角度を正確に測定し得るようにすること。【構成】 入射させるX線光路内の一部であって被測定試料14面と同一面上に位置させて格子面間隔が既知の値を有する結晶性薄膜部15を設けたX線反射率測定用試料ホルダ11とし、被測定試料14に対してX線を入射させて反射率を測定する際に、結晶性薄膜部15にもX線を入射させてその回折ピークを測定し、この回折ピーク値に基づき反射率データを補正し得るようにした。
請求項（抜粋）：
入射させるX線光路内の一部であって被測定試料面と同一面上に位置させて格子面間隔が既知の値を有する結晶性薄膜部を設けたことを特徴とするX線反射率測定用試料ホルダ。
IPC (2件)：
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