特許
J-GLOBAL ID：200903052868433480
アブソーバ配置構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128473
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323300
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 真空チェンバを取り囲む機器が密集していている箇所でも容易にフォトンアブソーバを配置し得て周辺機器の配置にも制約を及ぼさない新規なアブソーバ配置構造を提供する。【解決手段】 真空チェンバ14の継手用フランジ15に、その外周面の適宜位置から半径方向内側に延びて前記真空チェンバ14の内外を連通する貫通孔18を穿設すると共に、筒形のアブソーバ取付用ポート16を自身の内部通路17が前記貫通孔18と連続するように溶接により接合し、前記アブソーバ取付用ポート16に対し前記内部通路17及び貫通孔18を通して前記真空チェンバ14内に張り出すようにフォトンアブソーバ13を装着する。
請求項（抜粋）：
真空チェンバの継手用フランジに、その外周面の適宜位置から半径方向内側に延びて前記真空チェンバの内外を連通する貫通孔を穿設すると共に、筒形のアブソーバ取付用ポートを自身の内部通路が前記貫通孔と連続するように接合し、前記アブソーバ取付用ポートに対し前記内部通路及び貫通孔を通して前記真空チェンバ内に張り出すようにフォトンアブソーバを装着したことを特徴とするアブソーバ配置構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2G085AA13
, 2G085BA11
, 2G085BE02
, 2G085BE06
, 2G085DB10
