合焦面検出方法及び画像入出力装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006514
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196621
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】どのような凹凸の試料であっても加算すべき適切な合焦面を検出することができる合焦面検出方法を提供すること。【解決手段】観察像を標本の光軸方向の複数位置に焦点を合わせて取込み、この取込まれた複数枚の画像のコントラストデータに基づいて前記標本の光軸方向のコントラストカーブを求め、この光軸方向のコントラストカーブからしきい値を越えるピーク位置及び前記しきい値を越える複数位置を合焦面として選択する合焦面検出方法である。

請求項（抜粋）：

観察像を標本の光軸方向の複数位置に焦点を合わせて取込み、この取込まれた複数枚の画像のコントラストデータに基づいて前記標本の光軸方向のコントラストカーブを求め、この光軸方向のコントラストカーブからしきい値を越えるピーク位置及び前記しきい値を越える複数位置を合焦面として選択することを特徴とする合焦面検出方法。

IPC (7件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06 , G02B 7/36 , G02B 7/28 , G02B 21/00 , G03B 13/36 , H01L 21/66

FI (7件)：

G01B 11/00 H , G01C 3/06 P , G02B 21/00 , H01L 21/66 J , G02B 7/11 D , G02B 7/11 H , G03B 3/00 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-083478
特開平1-147971
特開平4-145406

審査官引用 (3件)

特開平4-083478
特開平1-147971
特開平4-145406

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