特許

J-GLOBAL ID：200903052875727040

ガラス基板の化学メッキ方法

発明者： 谷口 靖
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-097358
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263950
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 ガラス基板上に高精細な電極・配線パターンを高精度に形成することが可能な化学メッキ方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板上にフッ素系シランカップリング剤を所望のパターンで形成し、このシランカップリング剤の表面にアミノ基を導入し、更に表面活性化処理を施した後に化学メッキする。【効果】 カップリング剤表面のアミノ基の導入パターンを反映した高精細/高精度な電極・配線パターンを形成することができる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上にフッ素系シランカップリング剤を所望のパターンで形成し、該シランカップリング剤の表面にアミノ基を導入し、引き続き表面活性化処理を施した後に化学メッキすることを特徴とするガラス基板の化学メッキ方法。