特許

J-GLOBAL ID：200903052878032859

チタンスパッタターゲット及びその製造方法

発明者： リウ インシー
出願人/特許権者： ジョンソン マッティー エレクトロニクス インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-502239
公開番号（公開出願番号）：特表2001-509548
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】改良されたステップカバレージを与えるチタンスパッタターゲット、及びその製造方法を提供する。

請求項（抜粋）：

ターゲット面に平行な(20-25)面及び(11-20)面の強度の合計が4.1倍ランダムよりも大きく、(20-25)面の強度が1.5倍ランダム以上である、チタンスパッタターゲット。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C22F 1/18 ,  C22C 14/00 ,  C22F 1/00 604 ,  C22F 1/00 691

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  C22F 1/18 H ,  C22C 14/00 Z ,  C22F 1/00 604 ,  C22F 1/00 691 B

Fターム (5件)：

4K029BA17 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029DC03 ,  4K029DC07