電子線感応レジスト組成物及びそれを用いたスタンパの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-065037
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262960
出願日： 2002年03月11日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】高解像度、かつ、寸法精度のよいパターンが得られる電子線感応レジスト組成物及びそれを用いたスタンパの製造方法を提供すること。【解決手段】(a)電子線露光により酸を発生する化合物と、(b)カルボキシル基、フェノール性水酸基、2-ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル基の少なくとも1種類を有するバインダ樹脂、1分子中に少なくとも2個以上のビニルエーテル基を有する化合物、および窒素含有樹脂結合剤を酸触媒付加反応させて得られる樹脂とを含むレジスト組成物を作成し、これを基板101に塗布し、レジスト膜103を形成する。このレジスト膜に放射線105を照射し、現像してレジストパターン107を形成し、このパターンをマスクにして基板101に凹部を形成し、これをスタンパの製造に供与する(図面省略)。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布したレジスト組成物の塗膜に、所望パターンの露光または露光と露光後の熱処理により前記パターンの潜像を形成し、水性アルカリ現像液により現像してレジストパターンを形成し、前記レジストパターンをマスクにして前記基板に凹部を形成する工程を含むスタンパの製造方法であって、前記レジスト組成物は、(a)露光により酸を発生する化合物と、(b)カルボキシル基、フェノール性水酸基、2-ヒドロキシヘキサフルオロイソプロピル基の少なくとも1種類を含むバインダ樹脂、1分子中に少なくとも2個以上のビニルエーテル基を有する化合物、および窒素含有樹脂結合剤を酸触媒付加反応させて得られる樹脂とを含む組成物であることを特徴とするスタンパの製造方法。

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 , G11B 7/26 501

FI (2件)：

G03F 7/039 601 , G11B 7/26 501

Fターム (22件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB14 , 2H025AC06 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB17 , 2H025CB28 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 5D121BA03 , 5D121BB08 , 5D121BB33 , 5D121GG04

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