コンベア炉

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311893
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133160
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】基板被乾燥物や被焼成物の表面に欠陥を発生させたり、連続して搬送される基板を誤検出して取り出せなかったりする問題があった。【解決手段】基板3上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉1において、基板3を搬送する搬送ベルト2と、搬送ベルト2の搬送路上に設けられ、搬送ベルト2上の基板3を加熱するチャンバー5と、搬送ベルト2の上面に設けられ、搬送方向と直交する方向に並置されると共に内側が低くなるように上端を傾斜させて、この傾斜した上端に基板3を載置させる一対の基板保持手段10とを備える。

請求項（抜粋）：

基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉において、前記基板を搬送する搬送ベルトと、前記搬送ベルトの搬送路上に設けられ、前記搬送ベルト上の前記基板を加熱するチャンバーと、前記搬送ベルトの上面に設けられ、搬送方向と直交する方向に並置されると共に内側が低くなるように上端を傾斜させて、この傾斜した上端に前記基板を載置させる一対の基板保持手段とを備えることを特徴とするコンベア炉。

IPC (9件)：

F27B 9/24 , B65G 15/42 , B65G 15/58 , B65G 49/06 , F27B 9/39 , F27B 9/40 , F27D 3/06 , F27D 3/12 , H01L 21/68

FI (9件)：

F27B 9/24 E , B65G 15/42 Z , B65G 15/58 Z , B65G 49/06 A , F27B 9/39 , F27B 9/40 , F27D 3/06 B , F27D 3/12 Z , H01L 21/68 A

Fターム (24件)：

3F024AA10 , 3F024CA04 , 3F024CA08 , 3F024DA07 , 4K050AA01 , 4K050AA04 , 4K050BA17 , 4K050CF15 , 4K050CG09 , 4K050DA01 , 4K050DA02 , 4K050EA02 , 4K055AA05 , 4K055AA06 , 4K055EA01 , 4K055HA01 , 4K055HA07 , 4K055HA15 , 4K055HA16 , 4K055HA29 , 5F031CA04 , 5F031GA51 , 5F031MA30 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (1件)

プリントされた基板を焼き付けるための装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-110983 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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