ダイシング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-337878
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141310
出願日： 2000年11月06日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】本発明は、モニタに表示された左右のカットライン画像を画像移動させることができる画像移動手段を設け、この画像移動手段で左側のカットライン画像又は右側のカットライン画像を移動させて、左右のカットライン画像を一直線上に一致させることにより、平行合わせが容易なダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明のダイシング装置10は、モニタ28に表示された左側のカットライン画像17A又は右側のカットライン画像17Bを、画像移動レバー31、33によって移動させて、左右のカットライン画像17A、17Bを一直線上に一致させることにより平行合わせを行う。

請求項（抜粋）：

ブレードを高速回転させて半導体ウェーハを切断するダイシング装置であって、所定の間隔に取り付けられた左右の対物レンズを介して前記ブレードによる左右のカットラインを撮像し、左右のカットライン画像を分割表示するモニタを備え、該モニタに表示された左右のカットライン画像の各々のカットラインを一直線上に一致させることにより、カットラインとカットライン画像との平行合わせを行うダイシング装置において、前記モニタに表示された左右のカットライン画像を画像移動させることができる画像移動手段が設けられ、該画像移動手段で左側のカットライン画像又は右側のカットライン画像を移動させて、左右のカットライン画像を一直線上に一致させることを特徴とするダイシング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B24B 27/06

FI (2件)：

B24B 27/06 M , H01L 21/78 C

Fターム (7件)：

3C058AA09 , 3C058AA12 , 3C058AC02 , 3C058BA05 , 3C058BA07 , 3C058CB04 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭57-071146
特開昭56-100445
特開昭57-071146

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