特許
J-GLOBAL ID：200903052890806975
耐蝕性部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317224
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163428
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 ハロゲン系腐蝕性ガスへの曝露に対して、300 °C以上の高温領域で長時間に亘って耐蝕性のある耐蝕性部材を提供することである。【構成】 耐蝕性部材の基材が耐熱性材料からなる。厚さ10μm 以上の結晶質窒化アルミニウムからなる被覆膜が、基材の表面に、好ましくは化学的気相法によって設けられている。基材を構成する耐熱性材料としては、0.01重量%以上の炭素を含有する窒化アルミニウム焼結体、タングステンやモリブデンなどの高融点金属、グラファイトが好ましい。本発明の耐蝕性部材は、半導体製造用途に最適である。
請求項（抜粋）：
300 °C以上の温度でハロゲン系腐蝕性ガスに曝露されるべき耐蝕性部材であって、耐熱性材料からなる基材と、厚さ10μm 以上の結晶質窒化アルミニウムからなる被覆膜とを備えた耐蝕性部材。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H05B 3/14
, C01B 21/072
